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1. MSAP閃蝕藥水的應用領域

本藥水是一種為應用半加成法MSAP的精細線路形成技術而開發(fā)的過氧化氫／硫酸體系的快速蝕刻液。主要應用與MSAP制程應對Min L/S=20um/20um 線路形成；

2. MSAP藥水閃蝕技術優(yōu)勢

可以防止側蝕得到理想的線路形狀。

可以抑制線路側面侵蝕得到更寬的線幅。
適用于L/S=20/20的微細圖形。
藥液是易于管理的過氧化氫／硫酸系蝕刻液

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